2020年6月30日半导体湿电子化学品与电子气体论坛在上海召开。会议讨论了半导体产业政策与电子材料市场前景、湿电子化学品与电子气体的全球与中国市场、掺杂气体、蚀刻清洗气体、金属气相沉积气体、半导体封装用电镀液、酸、碱、醇、酮类电子化学品技术与市场等相关内容。
在会议进程中，我司参展的Kanomax FMT纳米颗粒量测设备引起了与会人员的广泛关注。来自第三方检测机构、工程公司、滤器产商，以及大宗和特种气体、slurry、光刻胶、高纯试剂、抛光材料和半导体生产相关的材料生产商等与会厂商对我司Kanomax“液体纳米颗粒计数、液体纳米粒度仪以及空纳米颗粒计数器”进行细致问询。
会中我司展示Kanomax FMT产品包括：
1. Scanning Threshold Particle Counter / STPC
（纳米级别不溶性颗粒污染物的浓度）
设备采用专利雾化(Nebulization)和凝聚核(CPC)技术。
与传统光学原理不同，可有效避免“气泡(Bubble)、折射率、载体介质、待测样本中颗粒材料和性状等”对测试的不良影响，检测纳米级别颗粒物污染物低至小10nm，分别显示10nm、15nm、20nm。
2. Liquid NanoParticle Sizer / LNS
（Slurry和部分化学品中的粒径分布）
设备采用专利雾化(Nebulization)、凝聚核(CPC)和电迁移率技术。
符合SEMI C98新版本要求，可以有效地对悬浊液或非澄清液体中的颗粒数量、颗粒浓度和粒径分布做测试（诸如有代表性样品是CMP Slurry），粒径范围：6-360nm @ 64 size bin per decade
3. Fast CPC / FCPC
设备采用专利雾化(Nebulization)和凝聚核(CPC)技术。快速直接检测气体/烟气中纳米颗粒物的浓度，可每秒生成一笔测试数据，粒径范围：1.9nm-3 µm。在极端的测试要求下，快反应时间可达到20毫秒/笔，为连续动态测试提供解决方案和测试设备。
如有相关需求欢迎咨询探讨。
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