○ 搭配自动化机器的 FOSB
○ 按照 SEMI标准尺寸的 LOAD PORT开关
○ OHT搬运容易得上法兰(选项)
○ 方便使用的设计
○ 符合人体工程学的搬运测把手
○ 可自动也可手动开/关
○ 搭配自动化机器的 FOSB
○ 按照 SEMI标准尺寸的 LOAD PORT开关
○ OHT搬运容易得上法兰(选项)
○ 方便使用的设计
○ 符合人体工程学的搬运测把手
○ 可自动也可手动开/关
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3S 晶圆载具盒 FOSB |
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| 容量 | 25片装 |
| 间距(PITCH) | 10mm |
| 外型尺寸 | W387mm X D344.5mm X H328mm |
| 重量 | 4.2kg(包括晶圆)- 7.2kg(不包括晶圆) ,重量随选配功能会有差异 |
