○ 工厂制程中清洗硅片时使用
○ 3S 开放式晶圆卡匣采用超级工程塑料
○ 晶圆制造厂制成间传送载具
○ 有优秀的尺寸稳定/精密/耐热/耐药品的特点
○ 工厂制程中清洗硅片时使用
○ 3S 开放式晶圆卡匣采用超级工程塑料
○ 晶圆制造厂制成间传送载具
○ 有优秀的尺寸稳定/精密/耐热/耐药品的特点
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3S 开放式晶圆匣 Open cassette |
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| 容量 | 25片装 |
| 间距(PITCH) | 10mm |
| 外型尺寸 | W332mm X D310mm X H301mm |
| 重量 | 2.2kg(包括晶圆)- 5.2kg(不包括晶圆) ,重量随选配功能会有差异 |
