○ 高精度测量
○ 根据客户需求灵活调整产品
○ 与竞争对手相比，更高的性价比
○ 长期稳定的产品售后支持和客户关怀
| E+H 测量分选设备 |
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|---|---|---|
| 技术规格 |
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| 晶圆直径 |
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300mm |
| 厚度范围 |
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600-900µm |
| 很大翘曲 |
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100µm |
| 电阻率范围 |
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0.001-200Ohm•cm |
| 类型检查范围 |
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0.020-200Ohm•cm |
| 厚度测量 |
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+/-0.3µm |
| TTV精度(MX 6012） |
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+/-0.1µm |
| 精度（MX 6012） |
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0.05µm（1 Sigma） |
| 电阻率测量 |
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0.001-80 Ω•cm |
+/-1
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80-200Ω•cm |
+/-5
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| 精度 | 0.001-80Ω•cm | 0.2%（1 Sigma） |
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80-200Ω•cm | 2%（1 Sigma） |
| 边缘排除2 |
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| 厚度 |
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5 mm |
| 电阻率 |
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10 mm |
| 吞吐量（1个点） |
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150晶圆/小时 |
| 发射接受站点 |
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12 |
1、校准温度+/- 2 K，梯度< 1 K/h时，实际值偏差、重复测量平均值均在这些范围内
2、传感器中心到晶圆边缘的距离
3、 和校准样片有关
